實(shí)驗(yàn)?zāi)康模?/strong>

1、了解最基本的真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)，掌握真空系統(tǒng)的操作方法； 

2、了解真空技術(shù)的基本知識，學(xué)習(xí)真空系統(tǒng)的基本方程； 

3、掌握高真空的獲得、測量的基本原理及方法； 

4、機(jī)械泵抽速測定； 

5、擴(kuò)散泵抽速測定； 

6、系統(tǒng)漏率的測定。

設(shè)備組成：

1、實(shí)驗(yàn)儀主要由真空儲氣瓶、玻璃油擴(kuò)散泵、真空測量儀表、高真空閥門、流導(dǎo)調(diào)節(jié)管、電控系統(tǒng)等組成。

2 、設(shè)備的真空室、 由擴(kuò)散泵、真空管路部件均可視化設(shè)計(jì)； 

3、電氣控制有安全防護(hù)，防止誤操作對人員和設(shè)備造成損傷； 

4、采用不銹鋼、真空波紋管結(jié)合管路，閥門為 316L 不銹鋼高壓雙卡套球閥；

技術(shù)參數(shù)：

1、真空儲氣瓶： 304 不銹鋼，

尺寸：約 φ200 x 480mm （以實(shí)際設(shè)計(jì)為準(zhǔn)）；容積約 15L 

2、真空測量：數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)；電阻規(guī)＋電離規(guī)測壓范圍： 1xE5~1xE-5 Pa  數(shù)量： 2套

3、真空系統(tǒng)： DRV10 雙極旋片泵＋四級玻璃擴(kuò)散泵， 擴(kuò)散泵需水冷； 

4、極限真空： 5xE-3 Pa; 

5、3 組流導(dǎo)調(diào)節(jié)管路，組成三種不同的抽氣流導(dǎo)， 

6、工作電源： AC220V ± 5%50Hz; 

7 、整機(jī)功率： 2kW 

8、用戶需自備或另購工業(yè)水冷機(jī)組 

9、機(jī)架：鋁合金型材機(jī)架。