真空蒸發(fā)鍍膜與手套箱聯(lián)合系統(tǒng)的用戶群體為科研院所及實(shí)驗(yàn)室，將真空蒸發(fā)系統(tǒng)工作室置于 Glove box 無水、無氧、無塵的超純環(huán)境中，PVD 與 Glove box（手套箱）硬件無縫對(duì)接，操控融合一體，廣泛應(yīng)用于 OPV（有機(jī)光伏電池）、OLED（有機(jī)發(fā)光二極管）、PLED（高分子發(fā)光二極管）等研究領(lǐng)域。

主要用途和適用范圍

本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè)。主要用于太陽能電池鈣鈦礦、OLED 和 PLED、半導(dǎo)體制備等實(shí)驗(yàn)研究與應(yīng)用。

手套箱蒸鍍 / 濺射一體機(jī)設(shè)備技術(shù)參數(shù)