真空實(shí)驗(yàn)儀是一個(gè)真空實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。由真空獲得部分、真空鍍膜機(jī)構(gòu)和電控及儀表等部分組成，能夠很直觀反映真空獲得的全過(guò)程。

國(guó)家實(shí)用新型專利：ZL 2007 2 0107661.X

主要實(shí)驗(yàn)內(nèi)容

1、真空的獲得與測(cè)量；

2、蒸發(fā)法薄膜制備。

主要技術(shù)參數(shù)

1、設(shè)備的真空室、油擴(kuò)散泵、真空管路部件全透明；

2、電氣控制有安全防護(hù)，防止誤操作對(duì)人員和設(shè)備造成損傷；

3、采用不銹鋼、真空橡膠管結(jié)合管路，閥門為電控雙向截止閥；

4、真空室：304 不銹鋼底盤和玻璃鐘罩組成，尺寸：Φ230×260mm；

5、真空測(cè)量：數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)；

6、襯底溫度：室溫～ 200℃（PID 控溫）；

7、抽氣系統(tǒng)：2XZ-4B 機(jī)械泵 + 四級(jí)玻璃擴(kuò)散泵，需水冷；

8、極限真空：9.6×10 -4 Pa；恢復(fù)真空：5×10 -3 Pa ＜ 40 分鐘；

9、1 組無(wú)氧銅電極，蒸發(fā)功率：AC10V/150A；襯底加熱、烘烤除氣；

10、可鍍膜尺寸：Φ70mm；

11、整機(jī)功率：3kW；16A 插座；

12、工作電源：AC220V±5，50Hz；

13、用戶需自備或另購(gòu)冷卻水系統(tǒng)。