DH-USP 系列 超聲霧化熱解噴涂裝置
超聲霧化熱解噴涂（Ultrasonic Spray Pyrolysis，USP）是一種重要的薄膜材料制備方法。這種方法的基本過程是：利用超聲波空化作用把特定成分和濃度的前驅(qū)體溶液霧化為粒徑微米量級的小液滴 ( 通常超聲波工作頻率在 MHz 量級 )，在一定流速載氣輸運(yùn)下前驅(qū)體氣溶膠到達(dá)加熱的襯底表面附近，膠體粒子發(fā)生熱分解后固態(tài)生成物沉積到襯底材料表面形成薄膜。
主要用途和適用范圍
用 于 高 校、 科 研 院 所 用 于 制備 單 元 和 多 元 氧 化 物、 硫 化 物、氯化物薄膜材料，典型的薄膜材料如 ZnO、TiO 2 、NiO、AL 2 O 3 、CdS、SnO 2 、ITO 等等。
主要技術(shù)參數(shù)
